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　　中国科学院院级科技专项体系包括战略性先导科技专项★◈✿、重点部署科研专项★◈✿、科技人才专项★◈✿、科技合作专项★◈✿、科技平台专项5类一级专项★◈✿，实行分类定位★◈✿、分级管理★◈✿。

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　　中国科学技术大学（简称“中国科大”）于1958年由中国科学院创建于北京★◈✿，1970年学校迁至安徽省合肥市★◈✿。中国科大坚持“全院办校★◈✿、所系结合”的办学方针★◈✿，是一所以前沿科学和高新技术为主★◈✿、兼有特色管理与人文学科的研究型大学★◈✿。

　　中国科学院大学（简称“国科大”）始建于1978年★◈✿，其前身为中国科学院研究生院★◈✿，2012年经教育部批准更名为中国科学院大学★◈✿。国科大实行“科教融合”的办学方针★◈✿，与中国科学院直属研究机构（包括所★◈✿、院★◈✿、台★◈✿、中心等）★◈✿，在管理体制★◈✿、师资队伍★◈✿、培养体系★◈✿、科研工作等方面高度融合★◈✿，是一所以研究生教育为主的独具特色的高等学校★◈✿。

　　上海科技大学（简称“上科大”）麻豆文化传媒一区★◈✿，由上海市人民政府与中国科学院共同举办★◈✿、共同建设★◈✿，由上海市人民政府主管★◈✿，2013年经教育部正式批准★◈✿。上科大致力于服务国家经济社会发展战略★◈✿，培养科技创新创业人才★◈✿，努力建设一所小规模麻豆文化传媒一区★◈✿、高水平★◈✿、国际化的研究型★◈✿、创新型大学★◈✿。

　　走进北京中科科仪股份有限公司（以下简称中科科仪）★◈✿，类似标语不断出现在楼梯台阶上★◈✿、走廊转角处和车间操作区里★◈✿，它们都是员工们集思广益想出来的★◈✿。在这里★◈✿，工匠精神不是口号★◈✿，而是大家的行动准则★◈✿。

　　多年来★◈✿，中科科仪深耕真空技术★◈✿，凭借自主研发的分子泵系列产品★◈✿，成长为国家级制造业单项冠军示范企业★◈✿，打破国外产品垄断★◈✿。日前★◈✿，中科科仪重大装备核心零部件产业化团队荣获中国科学院第六届“科苑名匠”称号★◈✿。

　　虽然我们日常生活中不会直接接触真空★◈✿，但从食品保鲜★◈✿、手机镀膜再到半导体精密制造★◈✿、航天仪器检测★◈✿，却处处离不开真空★◈✿。尤其是在半导体与集成电路制造产业★◈✿，在芯片制造的刻蚀★◈✿、薄膜沉积★◈✿、离子注入等工艺中★◈✿，真空环境和洁净度直接决定了芯片的良率和性能★◈✿。

　　分子泵是获得真空环境的通用仪器★◈✿，它利用高速旋转的转子使气体分子获得定向速度★◈✿，从而被压缩★◈✿、抽走★◈✿，可将空间内空气密度降低到10-6帕★◈✿。不过★◈✿，传统分子泵技术多采用机械结构麻豆文化传媒一区★◈✿，普遍存在转速较低★◈✿、磨损麻豆文化传媒一区★◈✿、振动★◈✿、噪声大等缺点★◈✿。更先进的磁悬浮分子泵则通过无接触支撑转子使各方面性能大幅提高★◈✿，是芯片制造的必备利器★◈✿。

　　然而★◈✿，起源于西方的磁悬浮分子泵★◈✿，其核心技术自然也被西方垄断龙8国际官方网站登录★◈✿。中科科仪党委委员★◈✿、总经理助理王利伟告诉《中国科学报》★◈✿，20世纪初★◈✿，引进一台磁悬浮分子泵的费用高达40万元★◈✿，在军工等关键领域★◈✿，国外甚至明确拒绝向中国出售★◈✿，技术壁垒之高可见一斑★◈✿。

　　为打破国外垄断★◈✿，作为科技“国家队”的一员★◈✿，中科科仪早在2004年就开始探讨并筹备磁悬浮分子泵的自主研发★◈✿。但磁悬浮分子泵的运行原理与传统机械式完全不同★◈✿，它很大程度上依赖传感器和电控系统★◈✿，将转子稳定地“悬”于中心★◈✿。这对团队而言★◈✿，是一个前所未有的挑战★◈✿。

　　直到2009年★◈✿，为提高集成电路产业核心竞争力★◈✿，国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”全面实施★◈✿。中科科仪承担了其中的“磁浮分子泵系列产品开发与产业化”项目★◈✿。在国家支持下★◈✿，磁悬浮分子泵的研发终于得以从构想走向实践★◈✿。

　　由于遭到严格的技术封锁★◈✿，中科科仪的研发人员只能从国外文献★◈✿、发明专利★◈✿、宣传资料等文字资料中摸索方向★◈✿，一点一滴规划属于自己的技术路径★◈✿。

　　最初样机问世时★◈✿，连基本功能都难以稳定运行★◈✿，参数调试★◈✿、性能优化几乎从零开始★◈✿。“连识别指示灯都亮不起来★◈✿。”研发中心总体设计工程师李兵回忆道★◈✿。为解决传感器精度问题★◈✿，让设备能识别微米级位移★◈✿，那段时间他们“日日想★◈✿，日日赶”★◈✿，只为了“一个数据的突破”★◈✿。

　　就在中科科仪团队铆足干劲全力攻关时★◈✿，国外企业也关注到了中国的进展★◈✿，并悄然施压★◈✿。2009年正式投入研发时★◈✿，曾经高不可攀的进口产品价格骤降到约20万元★◈✿；到2011年首台国产磁悬浮分子泵产品亮相国家“十一五”重大科技成果展时★◈✿，进口产品已降价至约10万元……

　　回忆那3年的变化★◈✿，李兵坦言中途差点放弃★◈✿。“国外产品降价★◈✿，意味着我们的产品进入市场时已无利润空间★◈✿，还要不要继续研发？”

　　“我们最终还是下定决心★◈✿，必须把核心技术掌握在自己手里★◈✿。”他说★◈✿，“我们必须建立自己的全链产业★◈✿。”最终龙8国际官方网站登录★◈✿，研发团队通过不断地技术升级★◈✿，推出具有市场竞争力的产品麻豆文化传媒一区★◈✿，成功打破国外垄断★◈✿。

　　如今回头看★◈✿，国产磁悬浮分子泵的攻关进程★◈✿，正巧与中国半导体产业的整体提速同频共振★◈✿，助力了我国半导体产业高质量发展★◈✿。目前★◈✿，国产工业级产品已稳定在几万元★◈✿，仅为当年最高价的1/10★◈✿。

　　中科科仪的前身是成立于1958年的中国科学院科学仪器厂★◈✿。60多年来★◈✿，他们一直奉行“严师出高徒”的人才培养模式★◈✿。

　　在李兵心中★◈✿，师父邹蒙不仅是带领大家研发磁悬浮分子泵的开创者★◈✿，更是一位要求严格的导师★◈✿。他回忆道★◈✿，清华大学毕业的邹蒙保持了严谨的实验习惯★◈✿。“他的实验手稿不仅记录详尽★◈✿，而且条理清晰★◈✿。哪怕过很多年后再翻出来看★◈✿，也能完全还原当时的实验过程★◈✿。”

　　2024年退休后麻豆文化传媒一区★◈✿，邹蒙仍难改几十年的习惯★◈✿，十分关心项目攻关★◈✿。就在不久前★◈✿，两人还坐在一起畅聊新产品的调试进展★◈✿。在李兵看来★◈✿，师父留给自己最重要的精神财富就是永葆创新精神★◈✿。

　　2014年前后★◈✿，中科科仪在国内率先提出将特殊材料应用于磁悬浮分子泵的构想★◈✿。为验证最优方案★◈✿，团队先后尝试了五六种替代材料★◈✿，但无论在强度★◈✿、重量还是稳定性方面★◈✿，始终无法满足要求★◈✿。最终他们成功使用最优特殊材料★◈✿，有效降低了转子重量★◈✿，整体强度达到早期产品的3倍★◈✿。

　　“工匠精神不单单是简单地重复试验★◈✿、机械操作★◈✿，尤其是在科技快速发展的今天★◈✿，必须持续学习★◈✿、不断创新★◈✿，才能真正把一件事做到极致★◈✿。”李兵说★◈✿。

　　10年前★◈✿，在高端半导体设备市场中★◈✿，尤其是在分子泵这类关键核心环节★◈✿，国内几乎完全依赖进口★◈✿。为了不再被“卡脖子”★◈✿，让磁悬浮分子泵更好地适应半导体制造过程中复杂多变的工艺环境★◈✿，中科科仪团队对泵体内部结构进行了精细化设计★◈✿，并增加了加热系统★◈✿，以防止反应物在腔体内快速沉积和腐蚀★◈✿，从而保障整个真空系统的洁净度与运行效率龙8国际官方网站登录★◈✿。

　　十余年的坚持★◈✿，换来了厚积薄发的突破★◈✿。2022年★◈✿，中科科仪的半导体专用磁悬浮分子泵实现产业化落地★◈✿，成功打破国外垄断★◈✿，迅速满足了刻蚀★◈✿、离子注入等工艺的核心需求★◈✿。

　　伏世帅研究生毕业后进入中科科仪★◈✿，师父一句“不懂产品龙8国际官方网站登录★◈✿，咋做技术”★◈✿，就把他安排到全流程中最枯燥★◈✿、最考验耐心的调平衡工艺环节★◈✿。

　　由于分子泵转子的转速高达每分钟几万转★◈✿，哪怕是一微米的偏差★◈✿，也可能导致整体结构在高速运转中失效★◈✿。调平衡的核心在于通过配重调整转子的平衡精度★◈✿。这项工作目前还无法完全依赖机器完成★◈✿，靠的是操作者丰富的经验和敏锐的手感★◈✿。即便是最熟练的老师傅★◈✿，也得有十足的耐心★◈✿。

　　就这样在车间调了半年★◈✿，伏世帅才真正摸到了门道★◈✿，达到精通的水平★◈✿。虽然他目前已经离开技术部门★◈✿，但依然很感谢当初师父对自己的锻炼★◈✿。

　　“90后”年轻人董博文虽然刚进入公司3年★◈✿，也深刻感受到“精益求精”的工匠精神★◈✿。他总结道★◈✿：“在执行任务时★◈✿，不是只去简单地完成指令★◈✿，而是要主动思考每件事到底要做到什么程度★◈✿、精度要达到什么标准★◈✿，不能满足于‘合格’★◈✿，而是要追求‘更好’★◈✿。”

　　中科科仪的员工在操作仪器★◈✿。受访者供图“做无差错能手★◈✿，向零缺陷迈进”“工艺巧于微末之处★◈✿，精品出于毫厘之间”★◈✿。走进北京中科科仪股份有限公司（以下简称中科科仪）★◈✿，类似标语不断出现在楼梯台阶上★◈✿、走廊转角处和车间操作区里★◈✿，它们都是员工们集思广益想出来的★◈✿。在这里★◈✿，工匠精神不是口号★◈✿，而是大家的行动准则★◈✿。多年来★◈✿，中科科仪深耕真空技术★◈✿，凭借自主研发的分子泵系列产品★◈✿，成长为国家级制造业单项冠军示范企业★◈✿，打破国外产品垄断★◈✿。日前★◈✿，中科科仪重大装备核心零部件产业化团队荣获中国科学院第六届“科苑名匠”称号★◈✿。“必须把核心技术掌握在自己手里”虽然我们日常生活中不会直接接触真空★◈✿，但从食品保鲜★◈✿、手机镀膜再到半导体精密制造★◈✿、航天仪器检测★◈✿，却处处离不开真空★◈✿。尤其是在半导体与集成电路制造产业★◈✿，在芯片制造的刻蚀★◈✿、薄膜沉积★◈✿、离子注入等工艺中★◈✿，真空环境和洁净度直接决定了芯片的良率和性能★◈✿。分子泵是获得真空环境的通用仪器★◈✿，它利用高速旋转的转子使气体分子获得定向速度★◈✿，从而被压缩★◈✿、抽走★◈✿，可将空间内空气密度降低到10-6帕★◈✿。不过★◈✿，传统分子泵技术多采用机械结构★◈✿，普遍存在转速较低★◈✿、磨损★◈✿、振动★◈✿、噪声大等缺点★◈✿。更先进的磁悬浮分子泵则通过无接触支撑转子使各方面性能大幅提高★◈✿，是芯片制造的必备利器★◈✿。然而★◈✿，起源于西方的磁悬浮分子泵★◈✿，其核心技术自然也被西方垄断★◈✿。中科科仪党委委员★◈✿、总经理助理王利伟告诉《中国科学报》★◈✿，20世纪初龙8国际官方网站登录★◈✿，引进一台磁悬浮分子泵的费用高达40万元★◈✿，在军工等关键领域★◈✿，国外甚至明确拒绝向中国出售★◈✿，技术壁垒之高可见一斑★◈✿。为打破国外垄断★◈✿，作为科技“国家队”的一员★◈✿，中科科仪早在2004年就开始探讨并筹备磁悬浮分子泵的自主研发★◈✿。但磁悬浮分子泵的运行原理与传统机械式完全不同★◈✿，它很大程度上依赖传感器和电控系统★◈✿，将转子稳定地“悬”于中心★◈✿。这对团队而言★◈✿，是一个前所未有的挑战★◈✿。直到2009年★◈✿，为提高集成电路产业核心竞争力★◈✿，国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”全面实施★◈✿。中科科仪承担了其中的“磁浮分子泵系列产品开发与产业化”项目★◈✿。在国家支持下★◈✿，磁悬浮分子泵的研发终于得以从构想走向实践★◈✿。由于遭到严格的技术封锁★◈✿，中科科仪的研发人员只能从国外文献★◈✿、发明专利★◈✿、宣传资料等文字资料中摸索方向★◈✿，一点一滴规划属于自己的技术路径★◈✿。最初样机问世时★◈✿，连基本功能都难以稳定运行★◈✿，参数调试★◈✿、性能优化几乎从零开始★◈✿。“连识别指示灯都亮不起来★◈✿。”研发中心总体设计工程师李兵回忆道★◈✿。为解决传感器精度问题★◈✿，让设备能识别微米级位移★◈✿，那段时间他们“日日想★◈✿，日日赶”★◈✿，只为了“一个数据的突破”麻豆文化传媒一区★◈✿。就在中科科仪团队铆足干劲全力攻关时★◈✿，国外企业也关注到了中国的进展★◈✿，并悄然施压★◈✿。2009年正式投入研发时★◈✿，曾经高不可攀的进口产品价格骤降到约20万元★◈✿；到2011年首台国产磁悬浮分子泵产品亮相国家“十一五”重大科技成果展时★◈✿，进口产品已降价至约10万元……回忆那3年的变化★◈✿，李兵坦言中途差点放弃★◈✿。“国外产品降价★◈✿，意味着我们的产品进入市场时已无利润空间★◈✿，还要不要继续研发？”是被打趴下★◈✿，还是咬紧牙关扛过去？“我们最终还是下定决心★◈✿，必须把核心技术掌握在自己手里★◈✿。”他说★◈✿，“我们必须建立自己的全链产业★◈✿。”最终★◈✿，研发团队通过不断地技术升级★◈✿，推出具有市场竞争力的产品★◈✿，成功打破国外垄断★◈✿。如今回头看★◈✿，国产磁悬浮分子泵的攻关进程★◈✿，正巧与中国半导体产业的整体提速同频共振★◈✿，助力了我国半导体产业高质量发展★◈✿。目前★◈✿，国产工业级产品已稳定在几万元★◈✿，仅为当年最高价的1/10★◈✿。工匠精神代代传中科科仪的前身是成立于1958年的中国科学院科学仪器厂★◈✿。60多年来★◈✿，他们一直奉行“严师出高徒”的人才培养模式★◈✿。在李兵心中★◈✿，师父邹蒙不仅是带领大家研发磁悬浮分子泵的开创者★◈✿，更是一位要求严格的导师★◈✿。他回忆道★◈✿，清华大学毕业的邹蒙保持了严谨的实验习惯★◈✿。“他的实验手稿不仅记录详尽★◈✿，而且条理清晰★◈✿。哪怕过很多年后再翻出来看★◈✿，也能完全还原当时的实验过程★◈✿。”2024年退休后★◈✿，邹蒙仍难改几十年的习惯★◈✿，十分关心项目攻关★◈✿。就在不久前★◈✿，两人还坐在一起畅聊新产品的调试进展★◈✿。在李兵看来★◈✿，师父留给自己最重要的精神财富就是永葆创新精神★◈✿。2014年前后★◈✿，中科科仪在国内率先提出将特殊材料应用于磁悬浮分子泵的构想★◈✿。为验证最优方案★◈✿，团队先后尝试了五六种替代材料★◈✿，但无论在强度★◈✿、重量还是稳定性方面★◈✿，始终无法满足要求★◈✿。最终他们成功使用最优特殊材料★◈✿，有效降低了转子重量★◈✿，整体强度达到早期产品的3倍★◈✿。“工匠精神不单单是简单地重复试验★◈✿、机械操作★◈✿，尤其是在科技快速发展的今天★◈✿，必须持续学习★◈✿、不断创新★◈✿，才能真正把一件事做到极致★◈✿。”李兵说★◈✿。10年前★◈✿，在高端半导体设备市场中★◈✿，尤其是在分子泵这类关键核心环节★◈✿，国内几乎完全依赖进口★◈✿。为了不再被“卡脖子”★◈✿，让磁悬浮分子泵更好地适应半导体制造过程中复杂多变的工艺环境★◈✿，中科科仪团队对泵体内部结构进行了精细化设计★◈✿，并增加了加热系统★◈✿，以防止反应物在腔体内快速沉积和腐蚀★◈✿，从而保障整个真空系统的洁净度与运行效率★◈✿。十余年的坚持★◈✿，换来了厚积薄发的突破★◈✿。2022年★◈✿，中科科仪的半导体专用磁悬浮分子泵实现产业化落地★◈✿，成功打破国外垄断★◈✿，迅速满足了刻蚀★◈✿、离子注入等工艺的核心需求★◈✿。在团队成员伏世帅看来★◈✿，工匠精神不仅依赖于系统的培训★◈✿，更是一种“心法”的传承★◈✿。伏世帅研究生毕业后进入中科科仪★◈✿，师父一句“不懂产品★◈✿，咋做技术”★◈✿，就把他安排到全流程中最枯燥龙8国际官方网站登录★◈✿、最考验耐心的调平衡工艺环节★◈✿。由于分子泵转子的转速高达每分钟几万转★◈✿，哪怕是一微米的偏差★◈✿，也可能导致整体结构在高速运转中失效★◈✿。调平衡的核心在于通过配重调整转子的平衡精度★◈✿。这项工作目前还无法完全依赖机器完成★◈✿，靠的是操作者丰富的经验和敏锐的手感★◈✿。即便是最熟练的老师傅★◈✿，也得有十足的耐心★◈✿。就这样在车间调了半年★◈✿，伏世帅才真正摸到了门道★◈✿，达到精通的水平★◈✿。虽然他目前已经离开技术部门★◈✿，但依然很感谢当初师父对自己的锻炼★◈✿。正是这样的磨炼★◈✿，中科科仪的员工才能屡次在中国科学院职工技能大赛中获奖★◈✿。“90后”年轻人董博文虽然刚进入公司3年★◈✿，也深刻感受到“精益求精”的工匠精神★◈✿。他总结道★◈✿：“在执行任务时★◈✿，不是只去简单地完成指令★◈✿，而是要主动思考每件事到底要做到什么程度★◈✿、精度要达到什么标准★◈✿，不能满足于‘合格’★◈✿，而是要追求‘更好’★◈✿。”（原载于《中国科学报》 2025-08-07 第1版 要闻）